真空計的撿漏和區分

真空計（Vacuum Gauge)，又稱規，是測量真空度或氣壓的儀(yi) 器。一般是利用不同氣壓下氣體(ti) 的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。

1、用電離計檢漏時，示漏物質應選用電離效果與(yu) 殘餘(yu) 氣體(ti) 有可能大差異者，電離效果包括電離率及電離電位兩(liang) 者的綜合結果，一般用氫，氦，二氧化碳等。

2、用熱真空計檢漏時，示漏物質可用氫，二氧化碳，丙酮。酒精等。一般說來，用氣體(ti) 噴吹用液體(ti) 覆蓋為(wei) 好，因為(wei) 液體(ti) 往往會(hui) 堵塞漏孔，還會(hui) 汙染真空係統或器件，熱真空計因為(wei) 慣性大，反應慢，檢漏時巡噴速度不宜過快，並仔細觀察，認真判別是係統的壓強波動，儀(yi) 器的漂移或是真正存在漏孔。隻有示漏物質離開後，儀(yi) 器指示恢複原狀的，才是真正的漏孔。熱真空計檢漏，要在它的測量範圍的真空度下，才能有效，即隻適用於(yu) 10^-1——10^-3托的真空度範圍。它哪呢過檢出最小漏孔為(wei) 1*10^-5托升/秒。

電離計的反應熱真空計快，但因示漏氣體(ti) 在真空係統中建立足夠分壓需要較長時間，故巡噴速度亦不能太快。電離計能檢漏的壓力範圍，大致同於(yu) 其測量範圍，故各種類型電離計各有其檢漏的壓力範圍。電離計能檢的最小可檢漏孔約為(wei) 1*10^-6——1*10^-7托升/秒。

在真空計檢漏中，即使示漏氣體(ti) 對著漏孔噴吹。或者示漏液體(ti) 塗於(yu) 漏孔，實際上都不可避免要夾帶有空氣進去，即示漏物質並沒有*取代空氣。帶進去的空氣一方麵衝(chong) 淡了示漏物質的作用，另一方麵還會(hui) 引起不必要的讀數波動，因為(wei) 混進的空氣分量時大時小。